Mini-Environment

Teilbereiche des Reinraums, in denen definierte Umgebungsbedingungen für bestimmte Prozessgeräte herstellt werden. Dieser kleine, spezialisierte Bereich trennt Mensch und Umgebung vom Produkt. Es ist weniger kostenaufwändig als ganze Räume mit speziellen Umgebungsbedingungen zur Verfügung zu stellen.

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Fachchinesisch von A–Z