Mikroskopische Verunreinigungen sind Partikel, die mit bloßem Auge nicht mehr zu erkennen sind, d.h. unter 10 µm (Mikrometer). Sie lösen sich z. B. von Kleidern (also von Menschen), Maschinen, Papier usw.. Diese Partikel (Staub) können Fehlerstellen in feinen Strukturen verursachen. Zu dieser Art der Verunreinigung gehören auch Mikroorganismen.
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