Luftfeuchtigkeit ist ein Parameter einer Reinraumumgebung. Die relative Luftfeuchtigkeit wird als Prozent der maximal möglichen Wasserdampfmenge in der Luft angegeben. Angaben beziehen sich immer auf eine bestimmte Temperatur (je wärmer die Luft, desto mehr Feuchtigkeit kann sie aufnehmen). Die absolute Feuchtigkeit (in g/kg) zeigt an, wie viel Gramm Wasserdampf in einem Kilogramm trockener Luft enthalten sind.

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