HEPA Filter (Englisch: High Efficiency Particulate Air Filter) sind wichtig zur Erhaltung der Reinraumumgebung. Sie filtern Partikel bis zu 0,3 Mikron mit einem Durchlassgrad von 0,05% heraus. Ein HEPA-Filter besteht aus Glasfasermatten. Die Wirkung erfolgt nicht ausschließlich durch die Siebwirkung, sondern indem die Partikel an den Fasern haften bzw. in die Fasern eindringen. Weiterhin gibt es den sogenannten Diffusionseffekt, wobei die kleinsten Partikel durch Zusammenstoß mit den Luftmolekülen verhindert werden.
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